ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

主要用途是進(jìn)行化學(xué)元素分析檢測(cè)，特別是對(duì)金屬元素分析最擅長(zhǎng)，也能分析B、P、As等非金屬元素。他和ICP-OES、AAS是化學(xué)元素分析的常用的三種儀器，ICP-MS的檢測(cè)限最低，可以達(dá)到PPT（10的負(fù)12次方）級(jí)

ICP-MS所用電離源是感應(yīng)耦合等離子體(ICP)，它與原子發(fā)射光普儀所用的ICP是一樣的，其主體是一個(gè)由三層石英套管組成的炬管，炬管上端繞有負(fù)載線圈，三層管從里到外分別通載氣，輔助氣和冷卻氣，負(fù)載線圈由高頻電源耦合供電，產(chǎn)生垂直于線圈平面的磁場(chǎng)。如果通過高頻裝置使氬氣電離，則氬離子和電子在電磁場(chǎng)作用下又會(huì)與其它氬原子碰撞產(chǎn)生更多的離子和電子，形成渦流。強(qiáng)大的電流產(chǎn)生高溫，瞬間使氬氣形成溫度可達(dá)10000k的等離子焰炬。樣品由載氣帶入等離子體焰炬會(huì)發(fā)生蒸發(fā)、分解、激發(fā)和電離，輔助氣用來維持等離子體，需要量大約為1 L/min。冷卻氣以切線方向引入外管，產(chǎn)生螺旋形氣流，使負(fù)載線圈處外管的內(nèi)壁得到冷卻，冷卻氣流量為10-15 L/min。

ICP-MS通常會(huì)使用氬氣、氦氣、氮?dú)?、氫氣、空氣或氧氣等氣源，主要還看ICP的使用者所選用的設(shè)備型號(hào)和檢測(cè)要求對(duì)氣源選擇有所不同。ICP -MS的用氣量比較大，通常24小時(shí)開機(jī)用氣量在3-5瓶之間。設(shè)備安裝前應(yīng)做好氣源系統(tǒng)的供給，鋪設(shè)好管路，安裝YICHUANG-21氣體控制系統(tǒng)，對(duì)設(shè)備實(shí)現(xiàn)不間斷供氣，減少因氣源供給不足而引發(fā)的設(shè)備報(bào)錯(cuò)或故障，致使前期工作浪費(fèi)。

對(duì)氣源比較遠(yuǎn)的客戶可以安裝遠(yuǎn)程氣源監(jiān)控系統(tǒng)，時(shí)刻監(jiān)控氣體的使用情況，可根據(jù)氣體使用情況，對(duì)氣源做適時(shí)調(diào)整。